Notice d'utilisation du profilomètre TENCOR P17

Benjamin Reig (1) , Séverine Vivies (1)

1 LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique

This instruction explain how to use in practice the mechanical profilometer (Tencor): - How to measure a step from nanometer scale to 300 microns. - How to done a sequence of measure to cartography a wafer - How to measure a differential stress

Cette notice explique de façon pratique comment réaliser des mesures avec le profilomètre mécanique (TENCOR). Il sera abordé la façon : - de faire des mesures de marche pour des épaisseurs allant de 10nm à 300μm. - de mesurer le stress différentiel venant de l’analyse du changement de courbure d’un wafer par l’ajout d’une couche de matériau. - d’utiliser une séquence de mesures pour obtenir une cartographie d’un échantillon de manière répétable et automatisé.

Mots clés: Profilometer; Roughness characterization; cartography; stress measurement

Mots clés: Profilométrie; Rugosité de surface; Cartograhie; mesure de stress

Domaines: Matériaux; Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Benjamin Reig, Séverine Vivies. Notice d'utilisation du profilomètre TENCOR P17 . Rapport LAAS n° 18128. 2018. ⟨hal-01791451⟩